上海韻申新能源科技有限公司專利技術

上海韻申新能源科技有限公司共有28項專利

  • 本實用新型公開了一種大尺寸ITO靶材燒結爐,包括機架和設置在機架上方的主箱體,燒結爐還包括平臺升降系統、進氣系統、排氣系統和溫度控制系統,所述主箱體內設有爐膛,所述爐膛包括爐體、上爐蓋和下爐門,所述平臺升降系統與下爐門連接,所述下爐門上...
  • 本實用新型公開了一種高速旋轉的真空溫度梯度爐,包括上盤組件、環狀爐體和下盤組件,所述梯度爐內設有第一加熱裝置、第二加熱裝置和第三加熱裝置,所述第一加熱裝置和第三加熱組件包括設置分別在上盤組件、下盤組件上的發熱絲,所述第二加熱裝置包括設置...
  • 本實用新型公開了一種高溫ALD前驅體源儲存裝置,包括源瓶瓶體、上封頭和下封頭,所述瓶體內設有加熱組件,所述上封頭的外側連接閥門管件,所述閥門管件包括兩個VCR接頭,所述兩個VCR接頭分別連接有第一隔膜閥和第二隔膜閥,所述第一隔膜閥的底部...
  • 本實用新型公開了一種超大節能型多晶硅還原爐,包括爐體和底盤,所述爐體連接在底盤上且在爐體與底盤之間限定出反應器內腔,其特征在于,所述底盤上至少設有108對電極,所述多對電極設在底盤上且按照多個同心圓式的環形等距布置,所述電極對的布置從內...
  • 本實用新型的一種區熔級多晶硅反應器,反應器包括底盤和爐體,爐體連接在底盤上形成反應器內腔,底盤上設有多個電極、多個進氣口和若干出氣口,所述電極上設置有硅芯,反應器還包括多個引流器,多個引流器與多個進氣口一一對應設置,引流器包括引流管,引...
  • 本實用新型公開了一種高溫高效合金反應提純爐,包括內部中空設為反應腔體的爐體,所述反應腔體內設有坩堝,所述坩堝連接有傳動系統,所述傳動系統包括可伸入坩堝內的提拉裝置和連接在坩堝外的傳動裝置,所述反應腔體連接有真空系統,所以反應腔體內設有加...
  • 本實用新型公開了一種多晶硅CVD反應器,所述反應器包括底盤和罩體,罩體連接在底盤上且在罩體與底盤之間限定出反應器內腔,反應器內腔中設有偶數個電極,所述電極按規律布置在所述底盤上,所述電極上連接有設置為豎直方向的硅管,每對電極上的硅管通過...
  • 本實用新型公開了一種絕緣水冷電極,用于電熱爐體,其包括中心設置有水冷空腔的電極體,所述電極體包括主體和錐頭,所述主體與錐頭間通過連接段固定連接,所述主體周圍套接有絕緣套,所述錐頭外設有導體涂層,所述連接段外設有絕緣涂層,所述連接段上部環...
  • 本實用新型公開了一種燒結式的燒結提純爐,包括爐體、上蓋、下蓋和冷卻系統,所述冷卻系統分別與爐體、上蓋和下蓋連接,所述爐體內設有反應腔體,反應腔體內設有熱場裝置,所述熱場裝置包括用于盛放和加熱物料的坩堝和加熱裝置,所述坩堝外設有均熱裝置,...
  • 一種氣相可控型多晶硅還原爐
    本發明公開了一種氣相可控型多晶硅還原爐,包括底盤和爐體,爐體連接在底盤上且在爐體與底盤之間限定出反應器內腔,所述反應器內腔中設有多個電極,所述電極按規律布置在所述底盤上,所述底盤下設有雙層進氣系統和排氣系統,所述爐體頂部設有預熱系統,所...
  • 一種多分區高溫電加熱器
    本發明公開了一種多分區高溫電加熱器,包括上部進氣口、下部出氣口、筒體組成的腔體部分和內部的加熱組件,所述加熱組件包括若干獨立的加熱單元,所述加熱單元由若干金屬加熱管組成,所述金屬加熱管兩端分別通過絕緣板固定在筒體上部和下部的內壁上,所述...
  • 一種手機曲面玻璃屏加工系統及加工方法
    本發明公開了一種工藝簡單、操作方便、成品率高的手機玻璃曲面成型方法,自動化程度高。模具自動進出爐體工位臺,工位臺工段作用銜接,溫度控制精確。模具采用石墨材料,潤滑性能高,熱應力小,不容易粘模。發熱體采用分段電加熱,功率控制精確;同時采用...
  • 一種高效多晶硅還原爐熱量回收系統及還原生產工藝
    本發明公開了一種高效多晶硅還原爐熱量回收系統包括還原爐,還原爐上連接有尾冷夾套,所述尾冷夾套上分別連接有夾套水入口、夾套水出口和先進換熱器,所述先進換熱器分別與夾套水入口、夾套水出口和還原爐相連,并連接有SV混合器,所述SV混合器與混合...
  • 一種直接式高效電加熱器
    本發明公開了一種直接式高效電加熱器,包括外筒體,其內設有介質流入的穩流腔、加熱腔以及介質流出的整流腔,所述整流腔內設有流體分布器,所述加熱腔內設有加熱組件,所述加熱腔與外筒體內壁間設有隔熱屏,所述外筒體上設有電極組件,所述電極組件與所述...
  • 一種氣相可控型多晶硅還原爐
    本實用新型公開了一種氣相可控型多晶硅還原爐,包括底盤和爐體,爐體連接在底盤上且在爐體與底盤之間限定出反應器內腔,所述反應器內腔中設有多個電極,所述電極按規律布置在所述底盤上,所述底盤下設有雙層進氣系統和排氣系統,所述爐體頂部設有預熱系統...
  • 一種泡罩式可調節多晶硅還原爐噴嘴
    本實用新型公開了一種泡罩式可調節多晶硅還原爐噴嘴,包括相連的泡罩噴頭組件和接管,所述泡罩噴頭組件包括噴頭底座和泡罩式噴頭,所述噴頭底座一端與所述接管相連,另一端與所述泡罩式噴頭一端相連,所述泡罩式噴頭另一端中心和側面上設有通孔;通孔的開...
  • 一種高效多晶硅還原爐熱量回收系統
    本實用新型公開了一種高效多晶硅還原爐熱量回收系統,包括還原爐,還原爐上連接有尾冷夾套,所述尾冷夾套上分別連接有夾套水入口、夾套水出口和先進換熱器,所述先進換熱器分別與夾套水入口、夾套水出口和還原爐相連,并連接有SV混合器,所述SV混合器...
  • 一種電氣可控的高效多晶硅還原爐
    本實用新型公開了一種電氣可控的高效多晶硅還原爐,包括底盤和爐體,爐體連接在底盤上且在爐體與底盤之間限定出反應器內腔,所述反應器內腔中設有多個電極,所述電極布置在所述底盤上的電極孔中,所述底盤上設有多個進氣口和至少一個出氣口,以所述多晶硅...
  • 一種管殼式空心套管電阻加熱器
    本發明公開了一種管殼式空心套管電阻加熱器,其加熱組件為雙層空心電阻套管,每個雙層空心電阻套管由嵌套的外層加熱管和內層加熱管組成,每兩個雙層空心電阻套管的尾部通過電極柔性連接片相連,形成U型回路。本發明結構簡單巧妙,升溫速度快、效率高、壓...
  • 一種多晶硅生產系統質量評價方法及裝置
    本發明公開了一種多晶硅生產系統質量評價方法及裝置。裝置包括一對棒評價爐、進料控制模塊、混合氣電加熱模塊、電源系統、預熱系統以及傳動系統。通過采用西門子法生產一對棒產品快速便捷檢測多晶硅生產系統特別是電子級多晶硅生產系統中原料純度等質量參...
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